Akụrụngwa ọgwụgwọ gas nwere ike iji gas na-eme ihe na usoro nkwenye Vapod, na-etinye na circal, cf3, cf3, c2f6, wf6, N2F, N2, N2
Usoro ọgwụgwọ gas
Dabere na njirimara nke ọgwụgwọ gas, enwere ike kee ọgwụgwọ ya ụzọ ọgwụgwọ anọ:
1. Typedị ịsa mmiri (ọgwụgwọ nke gas)
2
3. Mgbasa ozi (dị ka ụdị akwụkwọ mgbasa ozi si emeso gas kwekọrọ).
4.plasma ngwa ngwa (enwere ike ịgwọ ụdị gas niile).
Ofdị ọgwụgwọ ọ bụla nwere uru nke ya na ọghọm ya yana ngwa ngwa ya. Mgbe usoro ọgwụgwọ ahụ na-asa mmiri, akụrụngwa dị ọnụ ala ma dị mfe, ma nwere ike ijikwa ikuku na-agbanye mmiri; A na-eji ngwa a na-asa mmiri eletrik dị elu karịa nke ụdị mmiri ịsa mmiri, mana ọwa ahụ kwụ dị elu; ụdị a kpọrọ nkụ nwere arụmọrụ arụmọrụ dị mma, ọ naghị emetụta mmiri gas na-adị mfe ịmịcha ma ọ bụ na-asọpụta.
Chemicals na ngwaahịa ha na-ejikarị ya na ụlọ ọrụ semiconductor dị ka ihe ndị dị na kemịkal ha dị iche iche:
1. Gas na-enwu enwu dị ka Sih4h2, wdg
2. Gas na-egbu egbu dịka Ash3, ph3, wdg.
3. Gas cirses dị ka HF, HCL, wdg.
4. Greenhoins gas dịka CF4, NF3, wdg.
Ebe ọ bụ na ikuku anọ dị n'elu na-emerụ ahụ gburugburu ebe obibi ma ọ bụ ahụ mmadụ, yabụ na ntinye ya na-eme ka ọ dị ogologo ikuku na-agbanwe agbanwe, ya na usoro na-agbanwe agbanwe na-agbanwe agbanwe na-agbanwe agbanwe gas na-agbanwe agbanwe. Ya mere, ọ dị mkpa ịhọrọ ma kwekọọ akụrụngwa ọgwụgwọ gas gas dị ka njiri mara gas sitere na usoro ọ bụla iji dozie nsogbu gas na-agwụ ike na obere ụzọ. Dịka mpaghara ọrụ na-esikarị na usoro ọgwụgwọ gas gas gas, mgbe ọ na-eduga n'okirikiri nke gas na-eduga na ọkpọkọ, na-ebute ihe mgbawa, enweghị ike ijide n'aka na nchekwa ọrụ ọrụ. Ya mere, na mpaghara ọrụ kwesịrị ịhazi obere ihe ọkụkụ gas gas gas gas gas gas ahụ, iji belata gas na-enweghị ike na mpaghara ọrụ, iji hụ na nchekwa nke ndị ọrụ.
Oge Post: August-10-2023