Anyị na-enyere ụwa aka na-eto eto kemgbe 1983

Imebe sistem gas na ụlọ ọrụ semiconductor

Na semiconductor bu ibu, gas na-arụ ọrụ niile na lasers na-elebara anya. Ọ bụ ezie na lashers na-emegharị usoro na usoro silicon, etch na-etinye silicon ahụ ma mebie laser iji mee ka sekit zuru ezu bụ usoro nke gas. Ọ bụghị ihe ijuanya na gas ndị a, nke a na-eji emepụta micromocsles site na usoro ọtụtụ, bụ nke ịdị ọcha dị elu. Na mgbakwunye na mmachi a, ọtụtụ n'ime ha nwere nchegbu na adịghị ike ndị ọzọ. Offọdụ gas dị warara, ndị ọzọ na-ekewa, ndị ọzọ na-egbu egbu.

 4

Na mkpokọta, adịghị ike ndị a na-eme ka usoro nkesa gas na-arụ ọrụ maka ụlọ ọrụ semiconductor bụ ihe ịma aka dị ukwuu. Ihe omume ihe na-acho. Na mgbakwunye na nkọwapụta ihe onwunwe, usoro nkesa gas bụ ihe dị mgbagwoju anya elektrọnik dị mgbagwoju anya nke sistemụ njikọta. Gburugburu ebe ha na-ezukọ na-agbakọ agbagọ ma na-abawanye. Ihu azu na-ewere ọnọdụ na saịtị dị ka akụkụ nke usoro nrụnye. Ọkpụkpụ orbital na-enyere aka izute nkọwa dị elu nke mkpụrụs gas gas na-emepụta na-emepụta na gburugburu, ihe ịma aka na-enwekwa njikwa.

Otu ụlọ ọrụ semiconductor na-eji gas

Tupu ịnwa ime atụmatụ nrụpụta nke sistemụ mmanụ gas, ọ dị mkpa ịghọta ma ọ dịkarịa ala ntọala semiconductor. Na isi ya, semiconductoctor na-eji gas iji tinye ntọala dị nso na elu na-achịkwa nke ukwuu. A na-agbanwekwa akụrụngwa ndị a site na iwebata gas ndị ọzọ, lasers, ettald kemịkal, na okpomọkụ. Nzọụkwụ dị na mbara igwe bụ:

 5

Nkwenye: Nke a bụ usoro imepụta silicon wafer. A na-agbanye ikuku silicon n'ime oghere mkpuchi oghere ma na-etolite akwa silicon wafers site na mkpa anụ ahụ.

Photohiography: ngalaba foto ahụ na-ezo aka na lasers. Na elu nke ultraviolet littraviolet (EUV) dị iche iche na-eme ka ibe ahụ dị elu, a na-ejikwa laser ọkwa dị elu iji wettoprocountót na wafer.

Etching: N'oge usoro etching, a na-adọba gas na carbon n'ime ụlọ iji mee ka ihe ndị edoro na si silicon. Usoro a na - ekpughe usoro sekit nke bibiri na mkpụrụ.

Idobe: Nke a bụ nzọụkwụ ọzọ nke na-agbanwe ihe omume nke etched elu iji chọpụta ọnọdụ dị iche iche na-eduzi.

Aningming: N'ime usoro a, mmeghachi omume n'etiti wafer wafers na-akpalite site na nrụgide na okpomọkụ dị elu. N'ụzọ bụ isi, ọ na-eme ka nsonaazụ nke usoro gara aga wee mepụta usoro arụmọrụ na wafer.

 6

Imecha na nhicha: gas ndị e ji eme ihe na usoro ndị gara aga, ọkachasị etching na doping, na-abụkarị oke mma ma na-emegharị. Ya mere, ụlọ ụlọ gas na-enye ya nri na-enye ya mmiri jupụtara na gas na-eme ka ikuku na-emerụ emerụ eme ihe iji gbochie gas na-emetọ ikuku na mpụga.

Usoro nkesa gas na ụlọ ọrụ semiconductor na-esikarị ike n'ihi ọtụtụ gas dị iche iche na njikwa ọnọdụ ga-edobe mmiri gas, okpomọkụ na nrụgide a ga-enwerịrị oge. Nke a na-agbagha nke a site na ngwa ọcha ultra-elu chọrọ maka gas ọ bụla na usoro ahụ. A ga-ebido gas na mbụ na ahịrị na ime ụlọ ma ọ bụ na-anọpụ iche tupu usoro a ga-amalite. Nke a pụtara na enwere ọnụọgụ dị iche iche nke usoro pụrụ iche, interfaces n'etiti sistemụ ahụ na-emeghe na akpa na-eme ka ọ bụrụ na ha ga-egbochi mmetọ gas na-enye.

Na mgbakwunye, ebe ndị na-ekpo ọkụ dị ọcha na gas ọpụrụiche ga-enwe nnukwu ikuku na-ebu ibu na mpaghara dị ọcha na ebe a na-eme ihe ọ bụla iji belata ihe ọ bụla n'ihe mberede. Gbaa usoro gas ndị a na mpaghara dị mgbagwoju anya abụghị ọrụ dị mfe. Agbanyeghị, na nlekọta, lebara anya na nkọwapụta na akụrụngwa ziri ezi, enwere ike mezuo ọrụ a nke ọma.

Usoro nrụpụta gas na ụlọ ọrụ semiconductor

Ihe ndị a na-eji na sistemụ nkesa socias na-agbanwe agbanwe. Ha nwere ike ịgụnye ihe dị ka ọkpọ pịnyere ọla na hosis iji guzogide gas corrosive. Ihe kachasị eme ihe eji eme ihe maka ebumnuche Gectorctor bụ 316l anaghị agba nchara - a obere nchara carbon dị ala. Mgbe ọ na-abịa 316L VETUS 316, 316L na-eguzogidekwa corrosion. Nke a bụ echiche dị mkpa mgbe ị na-emeso ihe ga - eme ka ikuku na - agbanwe agbanwe nke ọma. Na-agbakwunye 316L igwe anaghị agba nchara na-ewepụta obere carbon dị obere. Ọ na - ebelata ike nke oke ala, nke nwere ike iduga corrosion na Welds na ọkụ metụtara etiti.

 7

Iji belata ohere nke corrosonion na-eduga na ngwaahịa ahịrị ngwaahịa, 316L steeli welded gas na Tunteren gas na-echedo burs burs bu ihe nlere na ulo oru na semiconductor. Naanị otu ihe na-enye nchịkwa nke na-enye njikwa achọrọ iji lekọta ọnọdụ ọcha dị ọcha na pipung. A na-etinye ihe na-eme ihe na-eme ihe na-akpaghị aka dị na ngalaba gas soniconductor


Oge Post: Jul-18-2023