Ka ahịa Semiconductor na-eto, ụkpụrụ maka ịdị ọcha na izi ezi na-abawanye ụba. Otu n'ime ihe ndị na-ekpebi ihe dị na ogo semiconductor na-emepụta ihe bụ gas na-eji na usoro ahụ. Gas ndị a na-egwu ọtụtụ ọrụ na usoro nrụpụta, gụnyere:
Njikwa usoro nhazi
Mgbochi Folu
Nkwalite ngwongwo nke Metallorgical
Iji rụọ ọrụ ndị a nke ọma, sistemụ gas na-arụ ọrụ gas ga-arụ ọrụ nke ọma. Ihe eji eme ihe eji eme ihe eji eme ihe eji eme ihe eji eme ihe eji eme ihe eji eme ihe site na mgbakọ dị iche iche iji hụ na mmepụta nke enweghị atụ.
Gas na-eji na semiconductor na-emepụta ihe
Usoro nke imepụta mmepụta chọrọ chọrọ iji gas dị iche iche na ọkwa dị iche iche nke usoro ahụ.
Ọ bụ ezie na ikuku ndị a na-ahụkarị dịka nitrogen, hydrogen, argon na Helium na ụdị ha dị ọcha, usoro ụfọdụ nwere ike ịchọ naanị nri ọpụrụiche. Silanes ma ọ bụ osisi hexafluerides, ha na ha na hydrocarbons bụ ole na ole n'ime gas ọpụrụiche eji emepụta. Ọtụtụ n'ime gas ndị a nwere ike ịdị ize ndụ ma ọ bụ na-emegharị ihe ịma aka dị na nhọrọ na usoro nke usoro maka gas.
Lee ụfọdụ ihe atụ:
\ Hydrogen na helium nwere ike ihichapu site na phing na usoro dabara adaba na nha ha atom na ibu ha.
\ Silines na-egbu egbu mara mma ma nwee ike ịgwakọta (autoigye) na ikuku.
\ Nitrogen Difluide eji na deposition, etching na elu nhicha gas na-aghọ mmanụ griin haus mgbe bourted na gburugburu ebe obibi.
\ Hydrogen fluorogen (etching gas) bụ ihe na-atọ ụtọ na ọla.
\ Trimethyylgallium na amonia nwere ike isi ike ijikwa - obere mgbanwe na ọnọdụ okpomọkụ ha na usoro nrụgide ha nwere ike imetụta usoro nkwenye.
Ọnọdụ na-achịkwa usoro iji belata mmetụta ọjọọ nke gas ndị a ga-abụrịrị ihe kacha mkpa n'oge usoro sistemụ. Ọ dị mkpa iji ihe kachasị mma dị ka ụdị diaphragm n'oge usoro owuwu.
Adreesị Egosipụta Ihe E Si Nweta Atụmatụ
Gas semiconductor nọ n'ọtụtụ oge nke ịdị ọcha dị elu ma na-enye ọnọdụ ekike ma ọ bụ mmeghachi omume dị iche iche nke usoro nrụpụta, dịka Etched na deposition. Ngbako ma ọ bụ mmetọ dị otú ahụ nwere ike nwee mmetụta ọjọọ. Ya mere, ọ dị oke mkpa maka usoro sistemụ a na-ejikarị ya kaa akara na corrosion na-eguzogide elu (polishing polishing) nwere ike idozi ya na enwere ike idowe ya ma enwere ike idowe ya.
Na mgbakwunye, ụfọdụ n'ime gas ndị a nwere ike iwe ọkụ ma ọ bụ mee ka ọnọdụ usoro ịchọrọ. Ihe mejupụtara nke ọma na-ahụ maka njikwa okpomọkụ, nke dị oke mkpa maka arụmọrụ nke arụmọrụ ikpeazụ.
Site na isi mmalite ruo n'ókè nke ojiji, ihe mejupụtara ọtụtụ mejupụtara na-akwado ultra-elu dị ọcha, ọnọdụ okpomọkụ na nchịkwa na-achọ ka achọrọ ime ụlọ na ime ụlọ.
Sistemu eji arụ ọrụ dị mma na semiconductor Face
Ọrụ dị mma na usoro imewe dị oke mkpa na nchịkwa zuru oke na nrụpụta nchekwa nke semiconductor. Ihe ndị a na-ejikarị ya eme ihe na-enweghị ihe ọ bụla iji kwekọọ na usoro usoro dị iche iche achọrọ na usoro dị iche iche nke ọrụ.Afk, na-emekọ ihe, na njirimara ndị a:
Ultra-di ocha
Akàrà na-enweghị atụ
Ọnọdụ okpomọkụ na-achịkwa
Njikwa nrụgide
Corrosion iguzogide
Ọgwụgwọ Polishictic
Oge Post: Ọkt-09-2023