Teknụzụ ọkpọ ọkụ dị elu dị ọcha bụ akụkụ dị mkpa nke sistemu ikuku gas dị ọcha, nke bụ teknụzụ bụ isi iji wepụta gas dị ọcha achọrọ ruo n'ókè nke ojiji ma nọgide na-enwe ogo ruru eru;Teknụzụ ọkpọ ọkpọ gas dị elu na-agụnye nhazi ziri ezi nke usoro ahụ, nhọrọ nke ntinye na ngwa, iwu na ntinye, na nnwale.N'ime afọ ndị na-adịbeghị anya, ihe ndị a na-achọsi ike na ịdị ọcha na adịghị ọcha nke ikuku dị elu na-emepụta ngwaahịa microelectronics nke na-anọchi anya sekit jikọtara ọnụ na-eme ka nkà na ụzụ ọkpọkọ nke ikuku dị ọcha na-enwewanye nchegbu ma mesie ike.Ihe na-esonụ bụ ntụle dị mkpirikpi nke ọkpọkọ gas dị ọcha site na nhọrọ iheof ihe owuwu, yana nnabata na njikwa kwa ụbọchị.
Ụdị gas nkịtị
Nhazi nke gas nkịtị na ụlọ ọrụ eletrọnịkị:
Gas nkịtị(Nnukwu gas): hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), wdg.
Ọpụrụiche gasbụ SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,Ọnụ ego nke HBR SF6…… wdg.
Enwere ike ịkewa ụdị gas pụrụ iche dị ka ihe na-emebi emebigas, nsigas, ọkụgas, ire ọkụgas, inertgas, wdg. A na-ekewa gas semiconductor a na-ejikarị dị ka ndị a.
(i) Na-emebi emebi / nsigas: HCL, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… wdg.
(ii) Ịkụ ọkụgas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… wdg.
(iii) combustibilitygas: O2, Cl2, N2O, NF3… wdg.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… wdg.
Ọtụtụ gas semiconductor na-emerụ ahụ mmadụ.Karịsịa, ụfọdụ n'ime gas ndị a, dị ka SiH4 combustion na mberede, ọ bụrụhaala na ntapu ga-emeghachi omume ike na ikuku oxygen na ikuku wee malite ire ọkụ;na ASH3nke ukwuu na-egbu egbu, ntanye ntanye ọ bụla nwere ike ime ka ndụ mmadụ dị ize ndụ, ọ bụ n'ihi ihe ize ndụ ndị a doro anya, ya mere ihe ndị a chọrọ maka nchekwa nke nhazi usoro dị elu karịsịa.
Ngwa oke nke gas
Dị ka ihe dị mkpa isi akụrụngwa nke ụlọ ọrụ ọgbara ọhụrụ, gas ngwaahịa na-ọtụtụ ebe, na a nnukwu ọnụ ọgụgụ nke nkịtị gas ma ọ bụ pụrụ iche gases na-eji metallurgy, ígwè, mmanụ ala, chemical ụlọ ọrụ, ígwè, ngwá electronic, iko, ceramik, ihe owuwu, ewu ụlọ. , nhazi nri, ọgwụ na ngalaba ahụike.Ngwa nke gas nwere mmetụta dị mkpa na nkà na ụzụ dị elu nke mpaghara ndị a karịsịa, ma ọ bụ ihe dị mkpa nke gas ma ọ bụ usoro gas.Naanị na mkpa na nkwalite nke dị iche iche ụlọ ọrụ mmepụta ihe dị iche iche na nkà mmụta sayensị na nkà na ụzụ ọgbara ọhụrụ, gas ụlọ ọrụ ngwaahịa nwere ike ịmepụta site na mmali na oke n'ihe dị iche iche, àgwà na nke ukwuu.
Ngwa gas na microelectronics na ụlọ ọrụ semiconductor
Iji gas eme ihe mgbe niile na-arụ ọrụ dị mkpa na usoro semiconductor, karịsịa usoro semiconductor ejirila ọtụtụ ọrụ na ụlọ ọrụ dị iche iche, site na omenala ULSI, TFT-LCD na ụlọ ọrụ micro-electro-mechanical (MEMS) dị ugbu a, ihe niile. nke na-eji usoro a na-akpọ semiconductor dị ka usoro mmepụta nke ngwaahịa.Ịdị ọcha nke gas na-enwe mmetụta dị oke mkpa na arụmọrụ nke components na ngwaahịa ngwaahịa, na nchekwa nke ikuku gas na-emetụta ahụike nke ndị ọrụ na nchekwa nke ọrụ osisi.
Ihe dị mkpa nke ọkpọkọ dị elu na-ebufe gas dị elu
Na usoro nke igwe anaghị agbaze na-eme ihe, ihe dị ka 200g nke gas nwere ike itinye uche na ya kwa ton.Mgbe nhazi nke igwe anaghị agba nchara, ọ bụghị nanị na elu ya na-ejikọta ya na ihe ndị dị iche iche na-emerụ emerụ, kamakwa na lattice ígwè ya na-etinyekwa ụfọdụ gas.Mgbe enwere ikuku site na pipeline, ígwè na-etinye akụkụ a nke gas ga-abanyeghachi na ikuku ikuku, na-emetọ gas dị ọcha.Mgbe ikuku na-asọba na tube ahụ na-akwụsị, tube ahụ na-eme ka gas dị n'okpuru nrụgide, na mgbe ikuku na-akwụsị ịgafe, gas adsorbed site tube na-emepụta nkwụsị nrụgide iji dozie, gas ahụ edozikwara na-abanyekwa na gas dị ọcha na tube. dị ka adịghị ọcha.N'otu oge ahụ, a na-emegharị mgbasa ozi na mkpebi, nke mere na ígwè dị n'ime ime tube na-emepụtakwa ntụ ntụ, na uzuzu uzuzu a na-emerụkwa gas dị ọcha n'ime tube.Ihe njirimara a nke tube dị mkpa iji hụ na ịdị ọcha nke gas na-ebufe, nke na-achọ ọ bụghị naanị ịdị mma dị elu nke elu dị n'ime nke tube ahụ, kamakwa ọ na-eyi akwa mkpuchi.
Mgbe a na-eji gas nwere arụrụ arụ siri ike na-emebi emebi, a ga-eji ọkpọkọ igwe anaghị agba nchara na-eguzogide corrosion maka ọkpọkọ.Ma ọ bụghị ya, ọkpọkọ ahụ ga-emepụta ntụpọ corrosion n'ime ime n'ihi mmebi, na n'ọnọdụ dị njọ, a ga-enwe nnukwu ebe a na-ewepụ ígwè ma ọ bụ ọbụna perforation, nke ga-emerụ gas dị ọcha a ga-ekesa.
Njikọ nke ịdị ọcha dị elu na nke dị elu nke ikuku gas na-ebufe na nkesa pipeline nke nnukwu ọnụego.
N'ụkpụrụ, a na-agbakọta ha niile, a na-achọkwa tubes ndị a na-eji eme ihe na-enweghị mgbanwe ọ bụla na nhazi mgbe a na-etinye welding.Ihe ndị nwere oke ọdịnaya carbon dị n'okpuru ikuku permeability nke akụkụ welded mgbe ịgbado ọkụ, nke na-eme ka ntinye nke gas dị n'ime na n'èzí ọkpọkọ ma na-ebibi ịdị ọcha, nkụ na ịdị ọcha nke gas a na-ebufe, na-akpata ọnwụ nke gas. mbọ anyị niile.
Na nchịkọta, maka ikpo ọkụ dị elu nke dị ọcha na ọkpọkọ nnyefe gas pụrụ iche, ọ dị mkpa iji ọgwụgwọ pụrụ iche nke igwe anaghị agba nchara, na-eme ka usoro pipeline dị elu (gụnyere ọkpọkọ, akwa akwa, valves, VMB, VMP) na. Nkesa gas dị ọcha na-arụ ọrụ dị mkpa.
Echiche zuru oke nke teknụzụ dị ọcha maka nnyefe na nkesa pipeline
Nfefe ahụ dị ọcha ma dị ọcha nke ukwuu na ọkpọkọ pụtara na enwere ụfọdụ ihe achọrọ ma ọ bụ njikwa maka akụkụ atọ nke gas a ga-ebufe.
Ịdị ọcha gas: Ọdịnaya nke ikuku na-adịghị ọcha na gGas dị ọcha: Ọdịnaya nke ikuku adịghị ọcha na gas, nke a na-egosipụtakarị dị ka pasent nke ịdị ọcha gas, dị ka 99.9999%, na-egosipụtakwa dị ka oke nha nke ọdịnaya ikuku adịghị ọcha ppm, ppb, ppt.
Akọrọ: ọnụ ọgụgụ nke mmiri mmiri dị na gas, ma ọ bụ ego a na-akpọ mmiri mmiri, nke a na-egosipụtakarị n'usoro nke igirigi, dị ka ebe nrụgide ikuku ikuku -70.C.
Ịdị ọcha: ọnụ ọgụgụ nke ihe ndị na-emerụ emerụ dị na gas, nha nke µm, ole irighiri ihe / M3 ga-egosipụta, maka ikuku abịakọrọ, na-egosipụtakwa na ole mg / m3 nke ihe fọdụrụnụ siri ike na-apụghị izere ezere, nke na-ekpuchi ọdịnaya mmanụ. .
Nkewa nha nke mmetọ: ụmụ irighiri ihe na-emetọ ihe, na-ezo aka na pipeline scouring, eyi, corrosion emepụtara site na irighiri ihe igwe, ihe ndi ozo nke ikuku, yana microorganisms, phages na mmiri nwere mmiri condensation ụmụ irighiri mmiri, wdg, dị ka nha nke urughuru ya si dị. na-ekewa n'ime
a) Nnukwu irighiri ihe - nha nha n'elu 5μm
b) Urughiri - ihe dayameta n'etiti 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro particles - urughuru nha erughị 0.1μm.
Iji welie ngwa nke nkà na ụzụ a, iji nwee ike ịghọta nghọta nke urughuru nha na nkeji μm, a na-enye ọkwa nke ihe dị iche iche maka nkọwa.
Ndị na-esonụ bụ ntụnyere nke kpọmkwem irighiri ihe
| Aha / nha nha nha (µm) | Aha / nha nha nha (µm) | Aha/ nha nha (µm) |
| Nje Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Mmanụ nuklia 0.01-0.1 | Agba 0.1-6 | Fly ash 1-200 |
| Carbon ojii 0.01-0.3 | Mmiri ara ehi ntụ ntụ 0.1-10 | Ọgwụ nje 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Nje bacteria 0.3-30 | Uzuzu ciment 5-100 |
| anwụrụ sịga 0.01-1 | ájá ájá 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silikoni 0.02-0.1 | Ọgwụ nje 0.5-10 | ntutu mmadụ 50-120 |
| Nnu kristal 0.03-0.5 | Uzuzu sọlfọ gbadoro anya 1-11 | Aja aja 100-1200 |
Oge nzipu: Jun-14-2022